97蜜桃,亚洲Av操逼,海角国产精品一区二区三区,东京热一区

News Center

新聞中心

當前位置:首頁  >  新聞資訊  >  磁控濺射儀的工作原理涉及了復(fù)雜的物理過程

磁控濺射儀的工作原理涉及了復(fù)雜的物理過程

更新時間:2025-05-06      點擊次數(shù):82
  磁控濺射儀的核心組成部分包括真空系統(tǒng)、濺射源(靶材)、磁場系統(tǒng)、電源以及控制系統(tǒng)等。其工作原理涉及復(fù)雜的物理過程,在工作時,首先將待鍍基片放置在適當?shù)奈恢?,然后對整個系統(tǒng)進行抽真空處理,以確保在高真空環(huán)境下進行濺射操作。這是因為在高真空環(huán)境中,氣體分子對濺射粒子的散射作用小,有利于獲得高質(zhì)量、均勻的薄膜。
 
  當真空度達到要求后,開啟電源,在靶材和基片之間施加一定的電壓,形成電場。同時,磁場系統(tǒng)產(chǎn)生特定分布的磁場,通常這個磁場與電場方向垂直。在電場的作用下,靶材表面的原子或分子獲得足夠的能量被激發(fā)出來,形成濺射粒子。而磁場的存在則對這些帶電的濺射粒子產(chǎn)生約束作用,使其在靶材表面附近的等離子體區(qū)域做圓周運動或螺旋運動。這種運動增加了濺射粒子與氣體分子的碰撞幾率,從而提高了濺射效率。
磁控濺射儀
 
  磁控濺射儀的校準:
 
  一、濺射參數(shù)校準
 
  1.靶材電流和電壓校準:使用精度較高的電流表和電壓表,對濺射過程中的靶材電流和電壓進行測量,并與儀器顯示值進行對比,如有偏差,可通過調(diào)整測量電路或校準儀器的顯示參數(shù)進行修正。
 
  2.濺射功率校準:通過測量靶材兩端的電壓和電流,計算實際的濺射功率,與設(shè)定功率進行比較,根據(jù)需要進行校準??梢允褂霉β视嫷葘I(yè)測量工具來提高校準的準確性。
 
  3.工作氣體流量校準:采用標準的流量計量裝置,對工作氣體的流量進行校準,確保氣體流量的準確性和穩(wěn)定性。檢查氣體流量控制器的工作狀態(tài),如有故障應(yīng)及時更換或維修。
 
  二、薄膜厚度及均勻性校準
 
  1.厚度校準:利用已知厚度的標準樣品,或者通過其他可靠的薄膜厚度測量方法,如橢偏儀、臺階儀等,對磁控濺射制備的薄膜厚度進行測量,與儀器設(shè)定的濺射時間、功率等參數(shù)所對應(yīng)的理論厚度進行比較,建立準確的厚度 -參數(shù)關(guān)系,從而對儀器進行校準。
 
  2.均勻性校準:在樣品臺上放置多個基底,在不同位置沉積薄膜,然后測量各位置的薄膜厚度,評估薄膜厚度的均勻性。根據(jù)測量結(jié)果,調(diào)整濺射源與樣品臺的距離、角度等參數(shù),以改善薄膜厚度的均勻性。
 
  三、磁場強度及分布校準
 
  1.磁場強度測量:使用高斯計等磁場測量儀器,對磁控濺射儀的磁場強度進行測量,檢查是否符合設(shè)計要求和工藝需要。在不同位置和不同工作模式下進行多次測量,以確保磁場強度的準確性和穩(wěn)定性。
 
  2.磁場分布均勻性檢查:通過測量磁場在靶材表面或濺射區(qū)域的分布情況,評估磁場的均勻性。如發(fā)現(xiàn)磁場分布不均勻,可能會影響濺射效果和薄膜質(zhì)量,需要對磁場產(chǎn)生裝置進行調(diào)整或維修。
歡迎您的咨詢
我們將竭盡全力為您用心服務(wù)
2885379450
關(guān)注公眾號
版權(quán)所有 © 2025 沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司  備案號:遼ICP備07009795號-2

TEL:

關(guān)注公眾號

亚洲有码区| 亚洲免费在线| 少妇口述3p刺激经历| 开心五月激情五月| 蜜桃九九网站| 欧美另类一区| 91久久国产综合久久91雪峰| 插久久| 91popny丨九色丨国产| 男女啪啪激烈高潮喷出gif免费| 国产精品久久久久精品三级下载 | 久久国产欧美一区二区免费| 爱爱| 欧美亚洲日本国产综合在线| 操av| 亚洲欧美日韩愉拍自拍美利坚| 亚洲一区二区无码视频| 夜夜嗨av无码专区| 亚洲热中文| 人妻字幕中文| 色五月婷婷久久| h国产视频| 中文字幕一区二区久久人妻网站| 狠狠干夜夜| 热狠狠色狠狠一区二区三区| 婷婷色图| 精品国产无码99| 国产av高清精品久久| 久久综合久久性爱| 精品久久久久久久久久久国产字幕| 国产丝袜在线精品丝袜不卡| 天天躁日日躁狠狠躁一区| 秦皇岛市| 久久久久久穴| 久久人妻系列| 欧美午夜| 亚洲国产成人无码AV在线| 亚洲中文久久久| 亚洲色视频一区二区| 国产99久久免费观看| 日韩欧美国产成人精品免费|